电子洁净厂房工艺冷却水和纯水管材的选择

二氧化钛色素的使用进一步提高了此特性。其内壁粗糙度及污染物的析出性能与clean-pvc接近。制造商主要有乔治.费歇尔管路系统有限公司（+gf+）。pvdf管材质为聚偏---，是一种高结晶度，热塑性塑料，可用温度/压力范围广。层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为class1~100。其主要特性是力学强度高、韧性好、具有优异的耐磨性、热稳定性和介电性，其纯度高，能熔融成型

洁净车间在电子工业厂房施工过程中工程管理要点

（1）---员都必须通过的进出口进入，并在进入清洁区之前必须换上软底运动鞋，并且不得将软底球鞋穿出洁净区外。除施工人员及管理人员外闲杂人等一律不得进入洁净车间的相关区域。

（2）进入清洁区之前，必须洁净车间的机械，工具，材料和配件，并在室外擦拭干净。不得有油、锈及灰尘等，并且只能从规定的出入口进出。梯脚、施工机具底脚必须有橡胶软底。

（3）清洁区域中的物料搬运和设备搬运应小心谨慎，以免与墙壁或---碰撞。工具或材料搬运时必须完全离开地面，不得在地面上拖行。管道等长度***1.5ｍ的材料必须由两人进行搬运，一人拿一端，不得一人独自搬运。

(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回系统回，尘埃随向排出室外，一般在---侧污染较---。

　　(2)垂直层流式：房间---完全以过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

　　3.复合式：

　　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

　　(1)洁净隧道：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ulsi制程大都采用此种型式。效过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。